真空氣體流量計可測量溫度、壓力、流量信號，經(jīng)補償后輸出標(biāo)況體積流量或質(zhì)量流量，產(chǎn)品有管道式和插入式兩種結(jié)構(gòu)型式，可現(xiàn)場顯示也可遠(yuǎn)距離傳輸，每種型式都有高溫、高壓、防腐等規(guī)格，又有整體的分體結(jié)構(gòu)，以適應(yīng)不同的測量介質(zhì)和安裝環(huán)境。
該流量計由供氣與抽氣系統(tǒng)、定容室與壓力測量系統(tǒng)、流量測量系統(tǒng)和烘烤系統(tǒng)等四部分組成，采用固定流導(dǎo)法及定容法兩種模式提供和測量流量。在流量計的設(shè)計中，解決了小孔流導(dǎo)的設(shè)計和計算、定容室和抽氣系統(tǒng)的小型化設(shè)計、應(yīng)用選擇性抽氣技術(shù)延伸流量測量下限等關(guān)鍵技術(shù)，同時還采用了分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計，使流量計具有便于拆卸及攜帶，操作簡單等優(yōu)點。
真空氣體流量計的主要設(shè)計思想有以下5點：
①采用了雙小孔、雙路流量輸出設(shè)計，有固定流導(dǎo)法和定容法兩種測量模式；
②采用了NEG泵選擇性抽氣技術(shù)，延伸了流量測量下限；
③對定容室及抽氣系統(tǒng)進(jìn)行了小型化設(shè)計，體積小、質(zhì)量輕；
④采用分體式結(jié)構(gòu)，流量計可以拆分，便利于攜帶。
⑤適合準(zhǔn)確測量天然氣、壓縮空氣和其他工業(yè)氣體的質(zhì)量流量，直接測量質(zhì)量流量，且不需要外部壓力和溫度補償。
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